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Investigation of fabrication parameters for the electron-beam-induced deposition of contamination tips used in atomic force microscopy
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | |
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Titel: |
Investigation of fabrication parameters for the electron-beam-induced deposition of contamination tips used in atomic force microscopy |
In: | Nanotechnology, 4, 1993, 3, S. 163-169 |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Umfang: | 163-169 |
ISSN: |
1361-6528 0957-4484 |
DOI: | 10.1088/0957-4484/4/3/006 |
Format: | E-Article |
Quelle: | IOP Publishing (CrossRef) |
Sprache: | Unbestimmt |