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High energy implantation: Present and future facilities
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | , |
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Titel: |
High energy implantation: Present and future facilities |
In: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 37-38, 1989, S. 398-402 |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Umfang: | 398-402 |
ISSN: |
0168-583X |
DOI: | 10.1016/0168-583x(89)90212-7 |
Format: | E-Article |
Quelle: | Elsevier BV (CrossRef) |
Sprache: | Englisch |