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Synthesis and fine patterning of organic–inorganic composite SiO2–Al2O3 thick films
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | , , |
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Titel: |
Synthesis and fine patterning of organic–inorganic composite SiO2–Al2O3 thick films |
In: | Applied Surface Science, 253, 2007, 12, S. 5442-5446 |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Umfang: | 5442-5446 |
ISSN: |
0169-4332 |
DOI: | 10.1016/j.apsusc.2006.12.106 |
Format: | E-Article |
Quelle: | Elsevier BV (CrossRef) |
Sprache: | Englisch |