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Investigations on oxygen diffusion in annealing processes of non-stoichiometric amorphous indium tin oxide thin films
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | , , , , |
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Titel: |
Investigations on oxygen diffusion in annealing processes of non-stoichiometric amorphous indium tin oxide thin films |
In: | Thin Solid Films, 513, 2006, 1-2, S. 319-324 |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Umfang: | 319-324 |
ISSN: |
0040-6090 |
DOI: | 10.1016/j.tsf.2006.02.007 |
Format: | E-Article |
Quelle: | Elsevier BV (CrossRef) |
Sprache: | Englisch |